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远安氩气的特殊用途

  远安氩气的特殊用途:


  氩气用于工业中的不锈钢焊接、制作和冶炼,还可以用于半导体制造工艺中的化学气还可以沉积、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨、离子注入、载流、烧结以及晶硅的保护气体等。为了提高硅晶体的质量,如何选择高纯氩气是硅晶体生产中的一个问题。通过该装置的使用,当氩气纯度小于1ppm,水分含量小于1ppm时,单晶硅的氧碳含量小于0.5ppm,延长了单晶硅的使用寿命。一般情况下,液氩汽化后没有经过提纯,氧含量一般为2ppm~5ppm。有时气体供应商供应的氩气会超过这个范围,但使用氩气的客户并不知道它的质量,所以往往会影响到使用质量。有了氩气纯化装置,无论原料中的气体质量好不好,只要装置处理,氩气的纯度总是恒定的。


  常压等离子渗氮因其产业化前景而受到特别关注,但研究者更多关注工艺参数对金属氮化物薄膜的性能的影响,对等离子改性过程中的光谱辐射特性关注较少。同时,为了获得稳定的N2放电,通常在反应器中加入一定量的氩气。


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